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在i-le光刻机、krf光刻机上都没遇到什么问，因为国内已经有了成熟可用的供应链。
但是duv干式光刻机的话，那么问题可就比较大了，这玩意的arf光源可不好搞但是就算不好搞，他多少还有点信心在最近两年内搞出来。
至于duv浸润式光刻机，说实话，王道林自己也不知道什么能搞出来。
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第193章 让人尴尬的手机壳 雨天下雨
第193章 让人尴尬的手机壳 雨天下雨